據合肥日報報道，國內首個專用于量子芯片生產的MLLAS-100激光退火儀（“激光退火儀”）已研制成功。

該激光退火儀可解決量子芯片位數增加時的工藝不穩定因素，像“手術刀”一樣精準剔除量子芯片中的“瑕疵”，增強量子芯片在向多比特擴展時的性能，從而進一步提升量子芯片的良品率。
報道稱，該設備由合肥本源量子完全自主研發，可達到百納米級超高定位精度，對量子芯片中單個量子比特進行局域激光退火，從而定向控制修飾量子比特的頻率參數，解決多比特擴展中比特頻率擁擠的問題，助力量子芯片向多位數擴展。
據中國科學技術大學郭國平教授表示，量子計算機是具有重要戰略價值的國之重器。代表量子計算機能力水平的一個重要參數是它的量子比特位數，量子比特位數越高，其計算能力越強。
安徽省量子計算工程研究中心副主任賈志龍博士介紹，該激光退火儀擁有正向和負向兩種激光退火方式，可以在生產過程中靈活調節多比特超導量子芯片中量子比特的關鍵參數。同時，該設備還可用于半導體集成電路芯片、材料表面局域改性處理等領域，目前已在國內第一條量子芯片生產線上投入使用。